通过直波导腔体导入太赫兹波,然后通过探针结构将太赫兹波耦合到本器件的核心部分晶体管结合共面波导(CPW)的结构上,该结构是由三根金属线结合半导体衬底构成的悬置共面波导与共面波导相邻金属传输带之间加入的Metamaterials单元嵌套HEM...
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共面波导(co plane waveguide)
Coplanar waveguide
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