Resonant Tunneling membrane structure
对于基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究 -建筑科学与工程、电力工业-论文中国 本论文基于纳米超晶格薄膜在应力作用下所具有的显著的力电耦合特性,研究了一种基于AlAs/InGaAs双势垒共振隧穿薄膜微结构(Resonant Tunneling membraneStructure,RTS)介观压阻效应的新型纳机电(Nano Electronical Mechanical System,N
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