文摘： 光诱导化学汽相淀积(LCVD)技术是一种新的低温化薄膜制备技术。本文评述了LCVD技术的特点、原理和装置,着重讨论了利用这种技术制备金属、半导体与化合物和介...
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光诱导化学汽相淀积
Photoinduced chemical vapor deposition
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