第一个问题是对于金属线/通孔梳状结构这种新的可靠性测试结构，常规的使用 “光致阻值改变显微镜”（OBIRCH）的方法无法进行准确定位。因此灵活的运用FIB, 将离子束刻蚀和被动电位对比度（PVC）方法相结合成为了解决这个难题的唯一途 径。
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光致阻值改变显微镜
Photoresistance value change microscope
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