光学镀膜机
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Optical coating machine
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叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作。
The X-ray multilayer mirror for longer wavelength fabricated with ion-beam-sputtering deposition instrument OXFORD, is introduced in this paper.
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