在所有的光刻分辨率增强技术中，光学邻近修正（Optical Proximity Correction，OPC）是最为成熟以及应用最为广泛的一种。它通过修改掩模图形 的形状来达到补偿失真的目的。
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光学邻近修正方法 Optical Proximity Correction ; OPC
光学邻近效应修正 Optical Proximity Correction ; optical proximity effect correction ; OpticaI Pmximity correctjon
包括光学邻近效应修正 Optical Proximity Correction ; OPC
光学邻近效应修正功能 Optical Proximity Correction
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