作 者： 凯泽 等 著 刘旭 等 译 （德）凯泽（Kaiser,N.），（德）普尔克（Pylker,H.K.） 编 丛 书 名： 出 版 社： 浙江大学出版社ISBN：9787308061544 出版时间：2008-08-01版 次：1页 数：336装 帧：平装开 本：16开所属分类：图书 > 科学与自然 > 物理学
薄膜光学所有的光学特性都是基于薄膜内光的干涉作用。
All the optical character of thin film is based on the interference of light inside.
结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理，研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。
Based on the optical heterodyne interferometer and transmission ellipsometry, a new fast measurement technique of nanometer film was presented computational.
结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术，设计了一种抗干扰能力强，快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。
Optical heterodyne interferometry together with reflective ellipsometry, a fast measurement technology with high anti-interference performance was applied to nanometer film.
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