目前的解决方案：分辨率增强(Resolution-enhancement)技术，例如光学邻近校正(optical-proximity correction)、相移掩膜(phase-shift)和浸没式光刻(immersion lithography)等，在32nm节点得到了采用。
基于6个网页-相关网页
例如光学邻近校正
For example, optical proximity correction
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动