...,orredundantvia)的方法与设计稳健度 (Robustness)有关但与光刻技术较无直接关系,为了作可能失效点预防(Fault Prevention)而增加双重接点。例如在先进的铜导线工艺中,上下两导线仅靠单 个通孔(Via)连通,单一通孔也许有上千万个。
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作可能失效点预防
Take preventive measures against possible failure points
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