...机电系统的制造技术 三、微机电系统的制造技术 null矽微加工技术方面又可分为以下三种： 体型微加工技术（Bulk micromachining） 面型微加工技术（Surface micromachining） 微光刻电铸造模技术（LIGA process） 体型微加工技术（Bulk micromachining） 体型微...
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体型微加工技术
Body type micro-processing technology
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