HWCVD)和低气压法(Low Pressure CVD,L PCVD)等等。 同时, 人们对液相外延法(Liquid Phase Epitaxy, 多晶硅薄膜材料的制备及...
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HWCVD)和低气压法(Low Pressure CVD,L PCVD)等等。 同时, 人们对液相外延法(Liquid Phase Epitaxy, 多晶硅薄膜材料的制备及...
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短语
和低气压法
Low Pressure CVD
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LPCVD
低压空气喷雾法
low-pressure air atomization
低气压试验方法
Low air pressure test method
低压蒸气生长法
lower pressure vapor growth