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低压化学气相沉积

网络释义专业释义

  LPCVD

低压化学气相沉积法(LPCVD)生长的掺硼氧化锌(BZO)是一种可大规模工业化生产的高雾度透明导电膜,很适合应用于薄膜光伏太阳能电池的前电极或背电极。

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  Low Pressure CVD

低压化学气相沉积法(low pressure CVD) 就是在进行薄膜沉积时,反应器内的气体压力调降到大约100torr以下的一种化学气相沉积反应。

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  low-pressure chemical vapor deposition

low-pressure chemical vapor deposition 低压化学气相沉积 ; 低压化学汽相沉积 ..

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短语

低压化学气相沉积法 LPCVD ; Low Pressure CVD ; Low Pressure Chemical Vapor Deposition

超低压化学气相沉积 VLPCVD

低压化学气相沉积系统 Low Pressure Chemical Vapor Deposition ; LPCVD

  • low-pressure chemical vapor deposition
  • low-pressure chemical vapor deposition

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