...烧结温度–相组成–气敏特性关系 周玉贵 季惠明 李晓雷 梁辉 徐明霞 【摘要】:以钨酸和正硅酸乙酯(tetraethyl orthosilicate,TEOS)为原料,采用改进的溶胶–凝胶工艺,在Al2O3基底上制备WO3–SiO2复合薄膜,重点考查复合薄膜的...
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