...百科大全,百科知识网 photosensitivity），线边沿粗糙度（Line Edge Roughness，LER），以及线宽粗糙度（Line Width Roughness，LWR）等。目前超紫外线光阻的敏感性和光学穿透率使得超紫外线光源的可用频宽超紫外线光阻剂性能订在2 %以内。
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