在射频等离子体放电条件下,以六甲基二硅氧烷(Hexamethyldisilone,HMDSO)为单体,氧气为反应气体,在PET薄膜及载玻片上聚合SiOx薄膜。
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文对以六甲基二硅氧烷 Hexamethyl disiloxane
以六甲基二硅氧烷
With hexamethyldisiloxane
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