secondary ion mass spectrometry
定义 中文名称:二次离子质谱法 英文名称:secondary ion mass spectrometry 定义:用能量1~20keV的一次离子束轰击固体试样,溅射出二次离子,再进行质谱分析的方法,可以检测由氢到铀的所有元素,能够进行表面微区分析和纵深分析,测出化学
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... 辉光放电质谱(GDMS) 二次离子质谱法(SIMS) 电感耦合等离子体质谱(ICP-MS) ...
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Second Ion Mass Spectroscopy
3、二次离子质谱法(Second Ion Mass Spectroscopy,SIMS),这种方法制样方便可以测量硅中总的氧含量,但精度较低。
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