二元光学器件（Binary Optical Element）是一种纯相位器件，具有很高的衍射效率。理论情况下，两台阶衍射效率达 41，四台阶达 81，八台阶达95。
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灰度掩模法是一种新的二元光学器件制做方法。
Gray scale mask method is a novel way of fabricating binary optical elements.
所得二元光学器件表面具有多位相的浮雕结构。
The relief surface of the element is of multiphase structure.
基于高斯分布随机信号模型，分析了二元光学器件对输入波面位相畸变的宽容度。
The tolerance of the BOE to the phase distortion with Gauss distribution of the input laser beam and the manufacturing error are analyzed.
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