在这样一个背景下，人们将微机电系统和光学技术相结合，产生了微光机电系统（MOEMS， Micro-Optical-Electro-Mechanical-System）。
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产生了微光机电系统 MOEMS
了微光机电系统
The micro-electromechanical system
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分析了基于法布里珀罗腔的微光机电系统可调谐滤波器中，空气腔厚度与峰值波长间的关系。
The relation between the air gap thickness and the peak wavelength in micro-optical electromechanical system (MOEMS) optical tunable filter based on Fabry-Perot etalon is discussed.
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