提出了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层两层构成。
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了一种基于硅橡胶薄膜
A kind based on silicone rubber film was developed
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