...腰--《电子与电脑》2005年07期 文快照】： 微机电系统(MicroElectron-Me-chanicalSystem,MEMS),也有人称之为微系统(Microsystem,MST),基本上是一种将半导体、机械、材料等不同领域的工程技术整合在单一微小装置上的工艺技术,其应用范围传统..
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...《电子与电脑》2005年07期 文快照】： 微机电系统(MicroElectron-Me-chanicalSystem,MEMS),也有人称之为微系统(Microsystem,MST),基本上是一种将半导体、机械、材料等不同领域的工程技术整合在单一微小装置上的工艺技术,其应用范围传统...
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