equivalent oxide thickness
...电常数/金属闸极 取代性的闸极整合方案，将因较狭窄的闸极长度而面临挑战；为缩减等效氧化层厚度(equivalent oxide thickness，EOT)，将会需要用到氧化锆(Zirconium oxide)。
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取代性的闸极整合方案，将因较狭窄的闸极长度而面临挑战；为缩减等效氧化层厚度(equivalentoxidethickness，EOT)，将会需要用到氧化锆(Zirconiumoxide)。
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