临界调制传输函数（CMTF）：光刻胶分辨一个图形所必 需的最小调制传输函数，它是光刻胶的另一个重要指标。
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临界调制传输函数(CMTF,Critical Modulation Transfer Function)。首要表征光刻胶自己曝光相比较度的参量。
临界调制传输函数
Critical modulation transfer function
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