封装,封装模具,封装方法,封装结构类技术资料-专利资讯服务网 构的方法 [摘要] 本发明揭示一种形成沟槽隔离结构的方法。首先，提供一具有至少一沟槽的基底。接着，在沟槽中填入一旋涂式玻璃层(spin on glass，sog)并对旋涂式玻璃层进行一第一烘烤处理。之后，回蚀刻旋涂式玻璃层至一既定深度。接着，对旋涂式玻璃层进行一
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接着，在沟槽中填入一旋涂式玻璃层(spin on glass，sog)并对旋涂式玻璃层进行一第一烘烤处理。之后，回蚀刻旋涂式玻璃层至一既定深度。
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