再把第一光路换成狭缝、第二光路换成平板准直器 （Parallel-plate collimator）与石墨单色器（Flat graphite monochromator） （如图 14） 后。此仪器还可以用于薄层材料反射率的测量，进而得到薄层材料的厚度[5]图 15。
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与石墨单色器
With graphite monochromator
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