聚焦离子数的原理与扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)相似，主要之差别在于FIB使用离子束作为照射源，而离子束比电子具大电量及质量，当其照设置固态样品上时...
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与扫描式电子显微镜
Compared with the scanning electron microscope
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