...结构刻蚀外，还可实现离子束清洗、材料表面抛光和材料减薄等功能，以及实现化学辅助离子束刻蚀（CAIBE）与反应离子束刻蚀（RIBE）。
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与反应离子束刻蚀
Etching with reactive ion beams
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