...新型奈米元件 研究计划，目的在于结合扫描式探针显微镜(scanning probe microscope，SPM)与原子层沈积(atomic layer deposition，ALD)技术，以探索新型的奈米元件。
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...奈米元件 研究计划，目的在于结合扫描式探针显微镜(scanning probe microscope，SPM)与原子层沈积(atomic layer deposition，ALD)技术，以探索新型的奈米元件。
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与原子层沈积
Deposited with atomic layers
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