为维持超高真空、避免污染，不采用油汽式扩散帮浦(Oil Diffusion Pump)，而采用回旋帮浦(Rotary Pump)与涡轮分子帮浦(Turbo Molecular Pump)之组合，可使成膜室真空腔体(Deposition Chamber)达到约 1×...
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不采用油汽式扩散帮浦
Oil-vapour diffusion pumps are not used
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