...入单晶硅的性能研究 1-2 硅中氧的性质 1-2-1直拉硅中氧的引入 硅单晶的生长主要有两种方法，一种是悬浮区熔法(Float zone method, FZ)，另一种是直拉法 (Czochralski method, CZ) [4,5] 。
基于4个网页-相关网页
...晶硅的性能研究 1-2 硅中氧的性质 1-2-1直拉硅中氧的引入 硅单晶的生长主要有两种方法，一种是悬浮区熔法(Float zone method, FZ)，另一种是直拉法 (Czochralski method, CZ) [4,5] 。
基于2个网页-相关网页