...0 - IP.com 光学接近修正方法 [ Optical approaching correcting method] 一种光学接近修正方法(optical proximity correction，OPC)；该方法是先提供一预定的电路图案，接着于一光罩上形成该电路图案，并于该电路图案以外的该光罩表面形成复..
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