2.6.3阳极键合法 阳极键合(Anodic Bonding)也称为场助键合或静电键合(electrostatic bonding),已有20多年的历史,主要应用于微机械器件及微型传感器的执行器“”。
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Anodic bonding technology of semiconductor silicon and glass wafer is key technology of MEMS.
半导体硅与玻璃的静电键合技术是微电子机械系统(MEMS)的关键技术,而作为关键材料之一的静电键合玻璃有着广阔的工业应用前景。
参考来源 - 静电键合用微晶玻璃的研究·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
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