...484 DOI: CNKI:SUN:RGJT.0.2010-01-049 正文快照: 1引言电子辅助化学气相沉积(Electron-assisted Chemical Vapor Deposition,EACVD)系统不仅具有一般热丝化学气相沉积系统所具有的装置简单、操作方便、对生长参数要求不高等优点,而且具备设..
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利用电子回旋共振（ECR）微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮，在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜。
Smoothing, dense and uniform nano crystalline diamond like carbon films are prepared by using electron cyclotron resonance (ECR) microwave acetone plasma chemical vapor deposition (CVD) method.
综述了热障涂层研究及应用中的几种主要制备技术，包括等离子喷涂、电子束物理气相沉积、离子束辅助沉积、化学气相沉积等。
In this paper, prevailing TBC deposition technologies, including plasma spray, electron beam-physical vapor deposition, ion beam assisted film deposition and chemical vapor deposition, are reviewed.
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