除了结构较简单、制程的配合度也比较高,本研究将以微扣件为主轴, 采用類深刻模造(LIGA-Like)的制程技术,结合 SU-8 光阻及牺牲层技术制作微扣件机构,以降低成本与 ©2007 National Kaohsiung University of Applied Scienc...
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深刻电铸模造技术 LIGA
光深刻电铸模造 Lithography Eletroforming Micro Molding ; LIGA
深刻模造
Deep modeling
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