...加强化学气相沉积（PECVD）制膜设备，使得温度低于200℃的情况下沉积极端光滑的无定形类金刚石（Amorphous Diamond- Like Carbon ，ADLC）薄膜成为了可能，ADLC 薄膜具有极低的摩擦系数、非电导性并且具有化学惰性，主要的应用领域包括发动机...
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无定形类金刚石
Amorphous diamond-like carbon
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