此外，压印微影（imprint lithography ）技术也可以解决晶片体积压缩的问题。 在传统的光刻工艺当中，一束镭射用来雕刻硅片上的一道沟槽，而后，这些沟槽会经过化学物...
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短语
步进快闪式压印微影
Step and Flash Imprint Lithography
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SFIL
奈米压印微影
NIL
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nanoimprint lithography
米压印微影术
nano-imprint lithography
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NIL
还有奈米压印微影
NIL
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nanoimprint lithography