缩小的尺寸有挑战的常用方法如光发射显微镜（LEM），激光束诱导电流（OBIC），液晶，和机械的探测到的替代技术是必要的。
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...综合测试系统，它集成了少子寿命测量、电阻率测量、方块电阻测量、扩散长度测量、太阳电池的表面反射率测量、光束诱导电流(LBlc)·测量以及量子效率测量等功能。它采用先进的不会损伤样品的无
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激光束诱导电流 LBIC
光束诱导电流
Beam-induced current
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