此要领是由法国奥尔良大学的雷森(Ranson)和艾拉克比(Elyaakoubi)在研究以氟粒子和氦气、氩气孕育发生的等离子体进行硅蚀刻时发明的[11,12]。从此，施用氟粒子在化学气相淤积上的应用起头成长。
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