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electrostatic convergence motor 静电电动机
In this paper, we first introduced the latest research trends of MEMS and electrostatic motor in both domestic and overseas. Then, we introduced the fundamental theory of MEMS and especially made emphasis on the introduction of Micro-mechanism manufacture technology.
本文介绍了微机电系统和静电电动机的国内外最新的研究动态及其发展趋势，介绍了微机电系统的基础理论，并重点介绍了微机械制造技术。
参考来源 - 扁平驻极体微电机的研究与仿真·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
以上来源于: WordNet
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