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electron beam mask

电子束掩膜

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electron beam mask system 电子束掩模制造系统

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electron beam generated mask 电子束技术制造的掩模 ; 电子束技巧制作的掩模

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电子、通信与自动控制技术

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Mask fabrication is a key technique of scattering with angular limitation projection electron-beam lithography (SCALPEL).

掩模制作是电子束散射角限制投影光刻(SCALPEL)的关键技术。

youdao
Electron beam lithography machine is the key instrument for mask making and research of nanometer device.

电子束曝光技术是掩模版制作和纳米器件研究的主要手段。

youdao

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