... 电化学加工的阴极设计 Cathode design of Electrochemical machining 电化学微加工技术 Electrochemical Micromachining 电化学机械加工 ECMM ...
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Wire electrochemical micromachining(WEMM) is a recent new method for micro-machining.
微细电化学线切割加工是最近出现的一种微细加工新方法。
In this paper, according to the characteristics of electrochemical micromachining (EMM), the impact factors of micro-hole array machining precision are analyzed.
从电解加工的特点出发，对影响微细阵列孔加工精度的因素进行了分析。
The consequences are benefit to Silicon electrochemical micromachining technology and the technology will be hopeful to become an new technology about Silicon deep-holes etching technology.
其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义，在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时，可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术。
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