电子能量几率分布函数(Electron Energy Probability Distribution Function)
...直接寻得,而对于另外的反应过程,从文献上 找到电子和相应粒子的碰撞截面盯p),再由碰撞截面和 电子能量概率分布函数 ( EEPF ) g,(g)计算反应系数,其中gP(s)=√占g。(占),而g。
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在射频范围内,由于电子动量转移频率和外加圆频率在量值上可比拟,所以对电导率的推导需要通过对电子能量概率函数(EEPF)进行测量和设定。通过对电子浓度、电子温度的测量或计算可以深入了解等离子体放电特性。
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