...直接寻得，而对于另外的反应过程，从文献上 找到电子和相应粒子的碰撞截面盯p），再由碰撞截面和 电子能量概率分布函数 （ EEPF ） g，（g）计算反应系数，其中gP（s）＝√占g。（占），而g。
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在射频范围内，由于电子动量转移频率和外加圆频率在量值上可比拟，所以对电导率的推导需要通过对电子能量概率函数（EEPF）进行测量和设定。通过对电子浓度、电子温度的测量或计算可以深入了解等离子体放电特性。
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在各种电子分布由浮动谐波法所测量的电子能量概率的功能（EEPF）的浮动电位的斜率从得到的电子温度进行了比较。基本上，这两个类型的电子温度应该是相同的，在麦克斯韦电子分布。
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...而减小/增加；等离子体中电子行为不仅依赖于射频输入功率，还与放电气压密切相关；放电气压的增加导致电子能量概率分布函数(EEPF)从双温Maxwellian分布向Druyvesteyn分布转变，而且转变气压远低于文献所报道的数值，这主要是由于在60MHz容性耦合等离子体中电子...
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