电子能量分布函数(Electron Energy Distribution Functions)
...（ECR）上的电子温度和等离子体密度的影响被认为是较弱的一个ICP固定放电电力，并在高放电功率减小时，电子能量分布函数（EEDF）是靠近麦克斯韦分布。它表明，ICP与磁场增强等离子体保持射频场的减少所造成的动力传递效率的增加，主要是由于。
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所有的低温处理等离子源有点非马克斯韦电子能量分布（EEDf），这里，能量尾端离化群体偏离其体分布。离化阈值以上的最高能量组维持辉光，设定等离子电位（Vp），同时，热体直接保持二种带电...
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