本文研究了在第一壁完全被石墨瓦覆盖的JT-60U上电子回旋共振放电清洗(ECR-DC)。由低混杂频率范围(LHRF)系统产生的2GHz带射频(RF)波被用于约0.06T的环向磁场中的ECR-DC。
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mw-ecr dc magnetron sputtering 微波电子回旋共振直流磁控溅射
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