...括脉冲激光 沉积(PLD),分子束外延(MBE),金属有机物化学气 相沉积(MOCVD),射频/直流溅射(RF/DC Sputtering),电子束反应蒸发(EBRE),喷雾热分解
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制备ZnO薄膜的方法主要有:金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)法[3]、磁控溅射法[4]、电子束蒸发法(EBRE)[..
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