...电子束感生电流 (EBIC) 技术可通过测量样品或设备暴露于电子束时流动的电流,对半导体材料和设备的局部电气性能进行表征。
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ebic curve ebic曲线
EBIC electron-beam-induced conductivity 电子束感应电导率
The recombination activity of grain boundaries (GBs) in casting multicrystalline silicon (mc-Si) was investigated through an electron beam induced current (EBIC) technique.
本文利用电子束诱生电流(EBIC)对铸造多晶硅中晶界的复合特性进行了研究。
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