...作为一种良好的新型催化 剂应用于碳纳米管的制备过程中．本实验即选用金 镍复合膜作催化剂，利用电子辅助化学气相沉积 （EACVD）方法，实现了在96％的高氢气浓度下金镍 复合膜上碳纳米管的定向生长，文中对金在碳纳米 管生长过程中所起作用进行了深入探讨． 2...
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...化(化学气相沉积W膜)→在大气中钎焊金属化刀头与刀架→刀具刃磨。 制备CVD金刚石厚膜 采用自行研制的电子辅助化学气相沉积(EACVD)装置(见图1)在100mm 的Si基片上制备0.8～1.0mm 厚的大尺寸金刚石厚膜，沉积工艺条件见表1。
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...OI: CNKI:SUN:RGJT.0.2010-01-049 正文快照: 1引言电子辅助化学气相沉积(Electron-assisted Chemical Vapor Deposition,EACVD)系统不仅具有一般热丝化学气相沉积系统所具有的装置简单、操作方便、对生长参数要求不高等优点,而且具备设..
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