射频容性耦合产生的结果之一是射频感性等离子体源具有感性耦合放电模式(H mode)、容性耦合放电模式(E mode)。在过去关于放电模式转化特性的实验研究中，阻抗匹配网络影响方面的工作很少，仅有G.
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E-mode 电动模式 ; 增强型 ; 纯电动
Edna E Mode 衣夫人
INACTIVE E MODE 不活动模式关闭与开启
E mode starting E型启动
Scale e Mode 缩放方式
partitioned E mode 分区方式
failure e mode 故障种类 ; 故障模型 ; 故障形式
freeze e mode 保持状态 ; 冻结模式
drive e mode 驱动方式
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