(4) 电极制作与图样 本论文电极中钛、金等金属的制作是使用电子枪蒸镀机(E-gun evaporator)，而矽化钨的沉积则是利用溅镀机 金属时，背景压力须低于 4×10 -6 陶尔(torr)，以维持蒸镀金属 环境的洁净;而溅镀矽化钨如图2-5 ...
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利用电子束蒸镀机(E-gun Evaporator)镀上Ti / Al / Ti / Au 金属，其厚度分别为300 / 1000 / 400 / 1200 A，之后用丙酮 (ACE)将光阻去除以及金属剥离(Lift-off)，接著...
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