...波带片在短波长及大数值孔径情形下，外圈环带径向宽度接近且径向宽度在数十纳米，对现有微加工刻蚀工艺提出了苛刻的要求。上述问题是目前超细光针场调制面临的实际困难，特别是现有国内外报道尚未有一种可行的方法能够实现横向尺度接近百纳米量级的超细光针场聚焦。技术实现思路为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种百纳米尺度超细光针场聚焦设计方法，基于微结构金属膜环带片，采用短波长激光照明，从深紫外(DUV)至极紫外(EUV)，具有成本低廉、系统结构简单、设计灵活方便的特点，可用于微纳光刻、纳米打印、超分辨显微成像、高密度光学存储等...
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...档档器 档力学像散性控制-四档位透档聚焦系档 施主-受主档 双档档-主模式 双档金属档-主液晶档示器 档档散射（LCD) 深紫外光(DUV) : 用来档光刻胶曝光的光源. 具有档生档小档像 档度的档点 行档 自档派档系档 洗档档 档档失效模式和影响分析 档比技档。
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...，主镜头焦距85mm，测量距离0.4m～无穷远，测量视场1°，测量参数有亮度Y、色品坐标、色温（Tc）、三刺激值（X/Y/Z）、色差（Duv），非接触瞄点测量，数据存储功能，RS232接口。
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DUV-DPL 光源
DUV DataUnderVoice 语言携带数据
TES DUV MOCVD 外延生长
DUV LED 深紫外发光二极管
data-under-voice duv 话下数据
DUV-FEL 深紫外自由电子激光
DUV stepper 步进机
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